
EasyNanoScan 台式扫描电镜
核心特点
高分辨率成像
分辨率:5nm@30kV(二次电子 SE);10nm@30kV(背散射电子 BSE)。
放大倍数:10X 至 200,000X(软件可扩展至300,000X)。
快速便捷操作
真空系统:抽气时间约90秒,排气时间仅10秒;涡轮分子泵3分钟内完成抽真空。
操作界面:全鼠标控制,20分钟即可上手;支持自动对焦、自动亮度/对比度调节、自动消像散等。
导航系统:内置样品导航相机,类似Google地图的定位功能。
灵活样品处理
样品室尺寸:最大支持直径80mm×高度40mm的样品。
样品台:电动载物台(X/Y 40mm,Z 5-40mm),支持位置记忆与一键复位。
多功能成像模式
探测器:标配SE和BSE探测器(支持4分割背散射成分/形貌成像),可合并SE+BSE图像,支持低真空模式(含5-50Pa)。
特殊功能:冷冻样品台(最低-20℃)、EDS元素分析(选配)、离子镀膜仪(增强导电性)。
可靠性与兼容性
硬件:预对中钨灯丝(更换仅需3分钟),Spellman品牌高压组件,防振设计。
软件:支持远程控制(TeamViewer),兼容主流元素分析品牌(如BRUKER、OXFORD)。
应用领域
材料科学(硬质合金、纳米纤维)、能源(二次电池阳极)、半导体(LED引线键合)、生命科学(细菌、血液)等。
案例分析包括药物粉末、石墨烯、镀锌钢板表面、玻璃涂层等。
配套设备与扩展功能
能谱分析仪(选配):SDD硅漂移电制冷探测器(元素范围B5-Cf98),符合ISO15632:2012标准。
选配件:冷冻样品台、自动平铺成像、高灵敏探测器。
数据输出:支持生成Word、Excel、PPT报告,图像格式包括JPG、TIFF、PNG等。
技术优势
紧凑便携:无需特殊安装条件,空间利用率高。
高效分析:支持一键生成高分辨图像和多层融合扫描功能。